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产品介绍:
名 称:不锈钢匀胶机HC150PE
型 号:HC150PE
应 用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品概述:
不锈钢匀胶机HC150PE 可编程匀胶机,采用分体式结构设计,高分子HDPE耐腐蚀内腔,4.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片。
该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔,美观耐腐蚀,经久耐用。
性能参数:
适用晶元尺寸范围:Ø 5~150mm;
旋涂速度:100~12000rpm;
转速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
最大旋涂时间:3000s;
旋涂时间精度:0.1s;
内腔直径212mm,内腔采用凹面防溅设计;
具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;
电源输入:AC200-230
产品特点:
设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀;
采用分体式结构,易清洁和移动;
4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;
精确设置实验参数,运行状态实时显示;
经CNC一体加工成型的HDPE内腔,内腔壁采用凹面设计,有效防溅;
采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;
具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。
可设置用户密码保护功能;
带真空度安全互锁检测功能;
带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;
HDPE高分子耐腐蚀内腔
不同尺寸的载物盘
不锈钢匀胶机HC150PE产品外型尺寸:
310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
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