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产品特色
Ø 采用高级PLC模块，工业级伺服电机；8英寸彩色触屏控制，人机界面；
Ø HDPE高分子内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；内腔壁采用凹面设计，有效防溅；
Ø 可编程写和存储100组程序，每组100步；
Ø 带真空度安全互锁检测功能；带盖子安全互锁检测功能；带排废接口；
Ø 具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能。
Ø 正、反转旋涂方向可自由切换；旋涂参数可设置循环执行；速度-时间曲线实时显示；
Ø 可设置用户密码保护功能；配置可调基座，方便调节水平；
性能参数
Ø 适用晶元尺寸范围：Ø5~220mm；
Ø 旋涂速度：0~10000rpm；转速分辨率：1rpm；旋涂加速度：0-50000rpm/s（空载）；
Ø 最大旋涂时间：3000s；旋涂时间精度：0.1s；
Ø 内腔壁采用凹面防溅设计；
Ø 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序100步；
Ø 均匀性：<±3%(需去边3mm区域测量)；
Ø 电源输入：AC200-230V；
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