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当前位置：首页 >产品中心>半导体前处理>安赛斯匀胶机/旋涂仪>HC160PE精密匀胶机
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产品特色
Ø 设计紧凑，可放置在手套箱内；
Ø 4.3英寸彩色触屏控制，人机界面；
Ø 一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁；内腔壁采用凹面设计，有效防溅；
Ø 高级PLC全自动程序控制，可编程；
Ø 带真空度安全互锁检测功能；带盖子安全互锁检测功能；
Ø 具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能。
Ø 不锈钢外壳，美观耐腐蚀；
Ø 带一路自动点胶接口，可升级自动点胶系统；
Ø 可设置用户密码保护功能；
Ø 配置可调基座，方便调节水平；
性能参数
Ø 适用晶元尺寸范围：Ø5~160mm；
Ø 旋涂速度：100~12000rpm；转速分辨率：1rpm；
Ø 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
Ø 最大旋涂时间：3000s；旋涂时间精度：0.1s；
Ø 内腔直径220mm，内腔壁采用凹面防溅设计；
Ø 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；
Ø 电源输入：AC200-230V；
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