程控高精度匀胶机

产品介绍：

名  称：程控高精度匀胶机

型  号：SC100-SE

应  用：程控高精度匀胶机，是一种超高转速精度，并带有真空数显传感器和水平数显传感器的高精密高档匀胶设备。

产品概述：

　　SC100-SE程控匀胶机是一种超高转速、高精度的旋转匀胶设备，并带有真空数显传感器和水平数显传感器，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。

性能参数：

l  主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

l  旋涂程序：可扩展编辑和存贮到无限程序步骤

l  转动速度：0-10,000rpm

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

l  转速精度达到±0.1rpm，超高转速稳定性；

l  工艺时间设定： 0-3,000 sec/step

l  时间设置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圆晶）

l  旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

产品特点：

l  内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

l  7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密闭碗"设计可适合各种材料匀胶工艺。

l  采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

l  机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。

l  透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光刻胶的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

l  数显真空压力传感器，真空值数字显示，压力开关值可设置；

l  数显水平度传感器，实时显示载物盘面的水平度，可通过底脚进行调节；

l  自带四个自动点胶端口，更多端口控制可升级。

产品外型尺寸：
      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构

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