匀胶机/旋涂仪有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。 匀胶机尽管是一款原理比较简单的实验室小型仪器,但影响匀胶效果的却有匀胶速度(speed)、匀胶时间(time)、匀胶加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。其中最重要的就是控制精度(accuracy),没有控制精度,其他的设置都是虚无。这也是某些品牌匀胶机最致命的问题所在。
安赛斯(中国)有限公司提供的HC系列匀胶机,采用进口电机及触屏控制系统,实现对转速、时间和加速度的精确控制,转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm,实现匀胶过程的高精度和高重复性。
最新升级的HC系列匀胶机有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多个型号,满足不同尺寸晶元的匀胶需求。 |